1.特定的波段(253.7纳米)的紫外线对恶臭气体的分子链进行分解,将其大分子结构打破变成小分子结构。2.特定的波段(185纳米)波段的紫外线使空气中的氧分子产生活性氧,即游离态的氧。因为游离氧所携带正负电子不平衡,所以与空气中的氧分子结合,进而生成臭氧。3.受催化剂二氧化钛(TIO2)的影响下,臭氧将打碎的恶臭气体分子氧化成二氧化碳(CO2)和水(H2O)等无机物。
半导体废气处理设备
废气介绍:由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高,通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气,因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类:酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。
废气危害:半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放,将造成严重的问题,不仅影响人们的身体健康,恶化大气环境,造成环境污染的公害事件等,也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。
废气处理设备处理方法:依据这些废气的特性,拉萨工业废气处理设备,在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法,针对不同污染物,可采取以下综合处理方法:1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统。
废气处理方式:低温等离子法、活性炭吸附法、光催化裂解法、生物分解法、燃烧法。
1.低温等离子法:
利用含高能量活性基团的等离子体分解废气分子,生成二氧化碳和水,从而达到净化废气的目的。
2.活性炭吸附法:
通过活性炭直接吸附有机气体。
3.光催化裂解法:
采用高能光波管与TIO2相互作用,工业废气处理设备规格参数,在光波净化设备内,工业废气处理设备生产厂家,将污染物裂解,小型工业废气处理设备价格,氧化。
4.生物分解法:
利用循环水流,将污染物溶于水中,再由水中培养的微生物降解为低害物质。
5.燃烧法:
通过焚烧炉,催化燃烧装置,高温燃烧去除废气中的有害物质。江苏山淼环境专业涂装喷漆有机废气处理。
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